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　　項目簡介

　　當一束單色X射線入射到晶體時，由于晶體是由原子規則排列成的晶胞組成，這些規則排列的原子間距離與入射X射線波長有X射線衍射分析相同數量級，故由不同原子散射的X射線相互干涉，在某些特殊方向上產生強X射線衍射，衍射線在空間分布的方位和強度，與晶體結構密切相關，每種晶體所產生的衍射花樣都反映出該晶體內部的原子分配規律。這就是X射線衍射的基本原理。

　　常見項目

　　銅靶-X射線多晶衍射(XRD)

　　鈷靶-X射線多晶衍射(鈷靶XRD)：XRD的光源來自于靶材的特征X射線，對于含有較多Fe，Ni，Mn，Cr元素的樣品，為避免Cu靶材產生的特征X射線激發樣品的熒光輻射，使圖樣清晰。建議使用Co靶測試。

　　變溫X射線多晶衍射(變溫XRD)：材料在升降溫過程中有可能發生多種轉化，物相轉變是其中之一。通過變溫原位XRD可以實時檢測材料在溫度范圍內的相變。在高溫區間由于原子熱振動加劇，XRD數據可能會出現質量較差的情況。

　　掠入射XRD(GIXRD)：常規XRD采用的是X射線直射樣品，由于X射線的穿深較大，對有基底的薄膜樣品，薄膜的峰經常被基底的峰掩蓋。掠入射采用與樣品近似平行的入射角度，使X射線僅照射在樣品表面，著重關注薄膜樣品的信號，規避基底信號。

　　微區XRD：常規XRD掃描范圍較大，微區可以僅關注樣品中的某個局部。關注區域直徑一般在200微米-1毫米。

　　高分辨XRD：HRXRD是一種基于XRD的一種新型測試模式，廣泛用于單晶質量、外延薄膜的厚度、組分、晶胞參數、缺陷、失配、弛豫、應力等結構參數的測試。

　　XRD搖擺曲線：搖擺曲線測試也叫做w掃描，是一種測試某個晶面在樣品中角發散大小的測試方法。

　　二維廣角X射線衍射(2D-WAXRD)：X射線在平面內發生散射，由檢測器記錄二維數據，一般用于研究材料的取向。可通過2D-XRD復現常規XRD的結果，也可以通過方位角曲線計算材料的取向度。

　　結果展示

　　常見問題

　　1. 樣品峰信號不好，測試時候有沒有什么改善方法呢?

　　建議只掃出峰位置，這樣強度和峰形會較好一些;

　　2. XRD測試薄膜樣品，對膜厚有什么要求呢?

　　XRD常規模式要求膜厚必須均勻，有些薄膜不均勻，兩邊厚中間薄是會影響峰強度的;

　　3. XRD定量的準確度如何呢?

　　XRD只能做半定量分析，定量結果只能參考，準確度不高;

　　4. XRD掠入射角度的選擇?

　　掠射角度建議越小越好，一般都是0-1°z好，例如0.5°，不建議2°或3°，這種基本不叫掠射，基底的信號也會比較明顯;

　　5. 有熒光散射的樣品測XRD，數據會受影響?是否可以改善?

　　有熒光散射現象的樣品，比如鐵，銅靶測試鐵含量較高的樣品時，測試結果基線會比較高，這種情況是無法改善的。

　　6. 高溫XRD樣品對塊體樣品厚度有要求嗎?

　　對于高溫XRD，塊體厚度盡量控制在2mm以內，應盡量薄，否則上下表面會有較大溫差，引起測試結果不準確;

　　7. 高溫XRD如何選取溫度點?

　　一般會結合TG-DSC的數據，凡是吸熱放熱的溫度點，一般都定為XRD測試溫度點;

　　8. 高溫XRD隨著溫度升高，峰位為什么會出現左移現象?

　　隨溫度升高使衍射峰左移，這是因為一般材料都是正膨脹系數材料，即隨溫度升高而膨脹。根據布拉格公式2dsinθ= nλ，在波長不變的情況下，d值增大，必然使sinθ 變小，而在衍射范圍內，也就是θ變小，即峰位左移;